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哈司特鎳合金壓力傳送器

哈司特鎳合金壓力傳送器

產品型號： PC-600系列

所屬分類：壓力傳感器

產品時間：2024-09-10

簡要描述：日本pureron哈司特鎳合金壓力傳送器PC-600系列
這種物質是產生微粒子造成半導體工藝污染的原因。因此，我們采用了遠比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開發出這種對應腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-600系列。

詳細說明：

日本pureron哈司特鎳合金壓力傳送器PC-600系列

半導體設備的生產線中、HBr、HCl等鹵素反應性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內表面吸附并 和少量的水分反應，形成腐蝕生成物。這種物質是產生微粒子造成半導體工藝污染的原因。因此，我們采用了遠比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開發出這種對應腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-600系列。

 

  • 高耐腐蝕性
    對應HBr、HCl等鹵素反應性、腐蝕性特殊氣體，氣體接觸部分采用遠比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金®，并進行了電解研磨處理，充分發揮了其出色的耐腐蝕性能力。
  • 高精度、高可靠性
    直線性、滯后性、重復精度的影響造成和*擬合線的最大偏差為±0.25％，具備高精度和高可靠性。
  • 測定范圍寬
    表壓的壓力范圍從0～172.4KPA（1.76KGf/cm2）到20,684KPa（210KGf/cm2），絕對壓的壓力范圍為0～2,586torr。
  • 使用壽命長
    各測量范圍都通過了100萬次的循環耐久測試。
  • 輸出
    輸出可以選擇4～20mA或0～5V，可以連接各種數字式面板儀表和可編程邏輯控制器。

日本pureron哈司特鎳合金壓力傳送器PC-600系列

規格

 

型號 表壓※絕對壓
PSI25G50G100G200G500G3000G15A25A50A
壓力范圍KPa0～172.40～344.70～689.50～1,378.90～3,447.30～20,6840～103.40～172.40～344.7
kgf/cm20～1.760～3.520～7.030～14.060～35.160～210.9---
torr------0～7760～1,2930～2,586
精度（％ 全量程)±0.5％±0.25％±0.5％

 

※可選項：表壓類型的輸出基準可以為真空（-100KPa）。（訂購時需要指ding）

 

過載壓力全量程×2
保存溫度范圍-40℃ ～ 85℃ （未通電）
溫度補償范圍0℃ ～ 70℃
溫度漂移±0.05%　FS/℃
外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec
氣體（液體）接觸部分哈司特鎳合金®
連接零件1/4"　Gasket seal、 Compression seal、其它

 

型號604605
激勵電源電壓DC 12～26VDC 12～26V
信號輸出4～20mA0～5V
跨度16mA±0.16mA5V±0.5V
偏移量4mA±0.4mA0V±0.1V


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