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產品中心

Product center

TEAC稱重傳感器用于半導體/FPD制造工藝的產品介紹

發布時間：2023-09-22　點擊量：886

TEAC稱重傳感器用于半導體/FPD制造工藝的產品介紹

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拉錠

多晶在石英坩堝中熔化，并在旋轉籽晶棒的同時進行拉晶，
以形成單晶棒（使用 CZ 法拉晶錠）。

拉力機用稱重傳感器 TT-XNⅡ / TT-XNⅡ(G)
拉力機用稱重傳感器
TT-XNⅡ / TT-XNⅡ(G)

  • 單晶生長稱重傳感器

  • 能夠測量微小負載的兩級式

  • 抗噪音及過載保護功能

拉力機 TT-XNS / TT-XNS(G) 稱重傳感器
拉力機
TT-XNS / TT-XNS(G)稱重傳感器

  • 單晶生長稱重傳感器

  • 過載保護

拉伸/壓縮型稱重傳感器 TU-PGRH□□N/KN-G
拉伸/壓縮型稱重傳感器
TU-PGRH□□N/KN-G

  • 用于拉制大直徑硅片

  • 超高精度

拉伸/壓縮型稱重傳感器 TU-PGRS□□N/KN-G
拉伸/壓縮型稱重傳感器
TU-PGRS□□N/KN-G

  • 用于拉制大直徑硅片

  • 高精準度

切割錠


晶圓是通過使用金剛石刀片將錠切割至定厚度而制成的。

負載測功機/稱重傳感器
負載測功機/稱重傳感器


數顯指示器TD-700T
數顯指示器
TD-700T

  • 標準型

  • 各種保持功能

  • CC-Link

數顯指示器TD-9000T
符合 TEDS 標準的彩色圖形
按壓/壓裝數字指示器
TD-9000T

  • 多功能型

  • 支持 2 個輸入：稱重傳感器 + 位移

  • 以太網/IP

稱重傳感器信號調節器TD-SC1
稱重
傳感器信號調節器
TD-SC1

  • 內置型

  • 豐富的網絡
    （EtherNet/IP?CC-Link?RS-485）

  • 通過PC設置/監控

晶圓拋光

研磨并拋光晶圓表面。

拉伸/壓縮型稱重傳感器 TU-NR-C□□KN-G
拉伸/壓縮型稱重傳感器
TU-NR-C□□KN-G

  • 薄型氣密結構、緊湊、輕量、
    連接器式

拉伸/壓縮型稱重傳感器 TU-GR ? KN-G
拉伸/壓縮型稱重傳感器
TU-GR ? KN-G

  • 薄型、剪切型、中心孔型

  • 抗偏心/抗疲勞

數顯指示器TD-700T
數顯指示器
TD-700T

  • 標準型

  • 各種保持功能

  • CC-Link

數顯指示器TD-9000T
符合 TEDS 標準的彩色圖形
按壓/壓裝數字指示器
TD-9000T

  • 多功能型

  • 支持 2 個輸入：稱重傳感器 + 位移

  • 以太網/IP

晶圓平坦化 (CMP)

晶圓的表面經過研磨和拋光，以平整任何不平整的地方。

拉伸/壓縮型稱重傳感器 TC-NSRSP(T)□□N-G3
拉伸/壓縮型稱重傳感器
TC-NSRSP(T)□□N-G3

  • 采用耐彎曲的機器人電纜

  • 通過使用濺射儀
    實現高響應和高穩定性。

數顯指示器TD-700T
數顯指示器
TD-700T

  • 標準型

  • 各種保持功能

  • CC-Link

數顯指示器TD-9000T
符合 TEDS 標準的彩色圖形
按壓/壓裝數字指示器
TD-9000T

  • 多功能型

  • 支持 2 個輸入：稱重傳感器 + 位移

  • 以太網/IP

稱重傳感器信號調節器TD-SC1
稱重
傳感器信號調節器
TD-SC1

  • 內置型

  • 豐富的網絡
    （EtherNet/IP?CC-Link?RS-485）

  • 通過PC設置/監控